Teile von elektrischen Industrie- oder Laboratoriumsöfen, einschl. von solchen Induktionsöfen oder solcher Öfen mit dielektrischer Erwärmung sowie von Industrie- oder Laboratoriumsapparaten zum Warmbehandeln von Stoffen mittels Induktion oder dielektrischer Erwärmung, a.n.g. (ausg. für die Herstellung von Halbleiterbauelementen auf Halbleiterscheiben "wafers")
Teile von elektrischen Industrie- oder Laboratoriumsöfen, einschl. von solchen Induktionsöfen oder solcher Öfen mit dielektrischer Erwärmung sowie von Industrie- oder Laboratoriumsapparaten zum Warmbehandeln von Stoffen mittels Induktion oder dielektrischer Erwärmung, a.n.g.