Vakuumpumpen von der für die Herstellung von Halbleitern oder ausschließlich oder hauptsächlich für die Herstellung von Flachbildschirmen verwendeten Art
Drehschieberpumpen, Sperrschieberpumpen, Molekularpumpen und Wälzkolbenpumpen (ausg. Pumpen für die Herstellung von Halbleitern oder Flachbildschirmen)
Vakuumpumpen (ausg. Pumpen für die Herstellung von Halbleitern oder Flachbildschirmen sowie Drehschieberpumpen, Sperrschieberpumpen, Molekularpumpen, Wälzkolbenpumpen, Diffusionspumpen, Kryopumpen und Adsorptionspumpen)